개방형 구조, XY 통합 설계 직접 구동 플랫폼, 하단 샤프트 듀얼 모터 드라이브, 우수한 동적 성능, 더 나은 기하학적 성능 및 더 높은 지지력, 큰 스트로크, 고정밀, 고하중 및 낮은 측면 높이와 같은 제품 특성을 고려합니다. 하부 샤프트는 듀얼 모터로 구동되며 상부 및 하부 차축의 최대 속도는 무부하 상태에서 2000mm/s에 도달할 수 있으며 무부하 가속도는 1nm의 전자 해상도로 2g에 도달할 수 있으며 최소 단계는 20nm 미만입니다. 측정, 웨이퍼 검사, 표면 거칠기 검사, 레이저 절단 등 나노 스케일 포지셔닝 정확도가 필요한 산업 분야 및 과학 연구 프로젝트에 적합합니다.