나노 수준의 위치 정확도, 선형 모터 구동, 크로스 롤러 가이드를 사용하여 매우 우수한 동적 성능 및 위치 정확도, 해상도 1NM, 반복 위치 정확도 ±100nm, 위치 정확도 ±200nm 및 기타 제품 기능을 갖춘 수직 모션 Z방향 플랫폼. 고정밀 직접 구동 리프트 테이블, 높은 동적 성능(120Hz 이상의 무부하 차단 주파수), 낮은 측면 높이, 협소공간 적용에 적합, 내장 공압 균형, 최대 하중 15kg, Surface-Theta 또는 선형 축, 5nm의 현장 안정성 삭제 및 기타 구조적 특징을 갖춘 다축 시스템을 형성할 수 있습니다. 리소그래피, 검사 및 포장, 프로파일 측정, 생의학 분야의 유전자 시퀀싱, 반도체 분야의 기타 산업에 적합합니다.