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자체 균형 Z 방향 모션 테이블

나노 수준의 포지셔닝 정확도, 크로스 롤러 가이드를 사용하는 리니어모터 드라이브, 매우 우수한 동적 성능 및 포지셔닝 정확도, 최대 100Hz 이상의 무부하 차단 주파수, 해상도 1nm, 반복 가능한 포지셔닝 정확도±100nm, 포지셔닝 정확도 ±250nm 및 기타 제품 기능. 이중 실린더 균형추, 높은 동적 성능(100Hz 이상의 차단 주파수),크로스롤러 가이드, 유연한 구성 옵션(다양한 스트로크로 사용자 정의 가능), 3nm의 현장 안정성 삭제 및 기타 구조적 특징. 통신 분야의 광섬유 결합, 반도체 분야의 결정 결함 검출, 생물의학 분야의 유전자 염기서열 분석, 레이저 마이크로나노 가공에 적합합니다.

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