고성능 다이렉트 드라이브 에어플로팅 플랫폼, 고성능 동적 성능, 공기 서라운드 유형 예압, 비접촉 설계, 고성능 스캐닝 및 검사 응용 분야에 맞게 맞춤 제작, 나노미터 수준의 위치 정확도 에어플로팅 플랫폼, 선형 모터 드라이브는 단일 축으로 사용하거나 다른 축과 함께 사용하여 다축 시스템을 형성할 수 있으며 고하중 응용 분야 및 기타 제품 기능에 매우 적합합니다. 슬라이드 플랫폼과의 마찰 제로, 우수한 동적 성능 및 위치 정확도, 공기 부양 플랫폼의 양압 및 음압 설계, 공기 부양 가이드 레일에 중력의 고르지 않은 분포를 적용하기 위해 지지대 가이드 레일로 공기탄성 위치 에너지를 사용하면 공기 가이드 레일의 정상적인 에어 갭 및 기타 구조적 특성을 더 잘 보장할 수 있습니다. 대규모 광학 렌즈 검사, 반도체 분야의 웨이퍼 결함 감지, 정밀 제조 및 포장 및 기타 산업에 적합합니다.