TOKK Robot (Suzhou) Co, Ltd.
높은 동적 성능, 마찰 및 진동이 없는 부드러운 움직임, 1nm의 격자 스케일 해상도, 낮은 열팽창 계수 및 기타 제품 기능. 이중 드라이브 빔은 모두 에어 가이드, XY 통합, 낮은 Abbe 암 및 기타 구조적 특징이 있는 H-브리지 구조를 갖추고 있습니다. 다양한 크기와 공정의 웨이퍼 검사 응용 분야에 적합합니다.
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