XYZ 중첩 구조, 철심 없음의 직접 구동 제어, 코깅 효과 없음을 채택하고 저속(작은 속도 변동)에서 원활하게 작동할 수 있으며 매우 우수한 동적 성능, 위치 정확도 및 반복 가능한 위치 정확도를 갖춘 비접촉식 고정밀 격자 눈금자가 장착되어 있습니다. 부드러운 움직임, 안정적인 힘, XY 축 적층 구조, 대리석 베이스, 높은 안정성, Z축 직접 구동 플랫 리프팅 구조, 직접 이동 하중 리프팅, 내장 밸런싱 실린더, 스트로크 10mm 및 기타 구조적 특징을 사용합니다. 3축 적층 구조의 고정밀 3축 고정밀 모션 테이블로 레이저 가공, 광학 제조 및 검사, 기타 고정밀 및 고효율이 요구되는 산업 프로젝트에 사용할 수 있습니다.