7축 LDI 노광기는 코어리스 리니어 모터, 직접 구동 제어, 코깅 효과 없음을 채택하고 저속(작은 속도 변동)에서 원활하게 작동할 수 있으며 매우 우수한 동적 성능, 위치 정확도 및 반복 가능한 위치 정확도를 갖춘 비접촉식 고정밀 격자 눈금자가 장착되어 있으며 7축 LDI 노광기는 고정밀 격자 위치 피드백을 선택하고 전체 스트로크 반복성은 ±1.5um 미만이며 위치 정확도는 ±2.5um 미만이며 일반적으로 고정밀 리프팅 축(Z축) 및 기타 구조적 특성과 함께 작동합니다. 주로 반도체 생산 라인, 마이크로일렉트로닉스 생산, LCD 디스플레이, LCD 디스플레이, 회로 기판 생산, PCB 제품 및 기타 고정밀 및 고효율이 요구되는 산업 프로젝트에 사용됩니다.