공기 부양 XY 중첩 구조, 빔 측면 조립 K축 및 Z축(기계식 가이드 레일), 코어리니어 모터 직접 구동 제어, 코깅 효과 없음을 채택한 다축 에어플로팅 플랫폼은 저속에서 원활하게 작동할 수 있습니다(속도 변동이 작음), 매우 우수한 동적 성능, 위치 정확도 및 반복 가능한 위치 정확도로 비접촉식 고정밀 격자 눈금자를 장착한 다축 공기 에어플로팅 플랫폼은 고정밀 격자 위치 피드백, 0.5um 미만의 전체 스트로크 반복성, 1um 미만의 위치 정확도 및 기타 구조적 특성을 제공니다. 주로 반도체 생산 라인, 마이크로일렉트로닉스 생산, LCD 디스플레이, 삭제, PCB 제품 및 기타 고정밀 및 고효율이 요구되는 산업 프로젝트에 사용됩니다.