적층 레이아웃, 소형 중공 구조, 고정밀 리니어 가이드 사용, 고동적 성능, 고정밀, Y축은 듀얼 드라이브 리니어 모터, 스트로크, 크기, 케이블 사용자 정의 및 기타 제품 특성에 의해 구동됩니다. 적층형 소형 중공 프로파일 구조로 작업 지점 위치가 낮아지고 격자 피드백 위치가 작업 표면에 가까워져 웨이퍼 검사에 중요하며 Y축은 듀얼 드라이브 선형 모터에 의해 구동되어 높은 추력, 1m/s 속도 및 정확한 위치 지정과 같은 구조적 특징을 제공합니다. 이 플랫폼은 중공 구조, 대형 스루홀, 높은 동적 성능을 갖춘 정밀 모션 테이블로, 웨이퍼 배치 및 검사 응용 프로그램을 충족하며, CCD 이미징 및 LED 패키지 검사와 같은 다른 고급 제조 산업에도 적합합니다.